產品應用與服務Product

簡潔洗鍊的高效能機台
可對應300mm及200mm晶圓裝載及卸載一體成型的機台，實現一體成型的機台小型化及2個系統的工作片傳輸帶的高生產率。
高品質及高性能的優異表現
由領先製造紫外線硬化型切割膠帶的公司所開發的高性能機台。藉由高輸出功率的紫外線照射及適宜的光照度，檢查每片晶圓處理的光亮度，防止在氧氣環境下的紫外線照射等功能*，將膠帶的功能完全發揮出來。
*為排除阻礙紫外線硬化的氧氣，先將氮氣充填在紫外線照射室後，再進行紫外線照射。
快捷的操作性與安全性
採用操作簡易的大型觸控式面板。設備的操作及修護的安全性皆以SEMI安全基準為方針，從設計及組裝皆符合安全標準。
◆通過CE商標認證
組裝工程的工廠自動化
藉由主機通訊功能與In-Line系統的組合，實現全方位製程的工廠自動化。

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