產品應用與服務Product
RAD-2600F/12 (300mm全自動膠帶轉貼機)
機台特性
可對應各種貼合製程
- 切割膠帶刀具採用搭載於琳得科研磨用保護膠帶貼合機的切割模組。可因應膠帶或晶圓形狀，實現最佳切割條件。
- 採用特殊定位模組(V型缺角、中心點定位、穿透膠帶定位)，可對應各種晶圓定位。
選配項目
- 主機通訊功能
- 切割膠帶inline預切割
- 視覺系統(晶圓ID讀碼及條碼貼合系統)
- 晶圓貼合精度量測模組
設備規格
| 設備尺寸 | 3,400mm(W) 4,000mm(D) 1,905mm(H) |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 8 inch (option) 12 inch |
| 鐵圈尺寸 | 8 inch (option) 12 inch |
