產品應用與服務Product

適用於各製程之全方位產品

PCBL(Pattern Coating Before Lamination) Process
針對半導體晶圓的背面研磨(Backgrinding)工程,琳得科(LINTEC)開發了「PCBL (Pattern Coating Before Lamination) 製程」,可有效改善晶圓正面因電路蝕刻段差所導致的厚度偏差。為了消除段差而開發的新型樹脂塗佈設備「RAD-3400F/12」。
DBG Process
DBG製程與一般製程相較,可降低晶背chipping之發生,且在晶圓變薄前先完成刀切,因此在研磨製程中可解決 chipping問題。
SDBG Process
對晶圓電路面具優良的貼附性,透過抑制Kerf Shift 的技術,降低晶圓破損風險,實現極薄晶片製造。