產品應用與服務Product
適用於各製程之全方位產品
PCBL(Pattern Coating Before Lamination) Process
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針對半導體晶圓的背面研磨(Backgrinding)工程,琳得科(LINTEC)開發了「PCBL (Pattern Coating Before Lamination) 製程」,可有效改善晶圓正面因電路蝕刻段差所導致的厚度偏差。為了消除段差而開發的新型樹脂塗佈設備「RAD-3400F/12」。
Dicing / Mounting Process
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半導體切割製程中,透過晶圓貼合機將切割膠帶確實貼合並固定於鐵圈,切割後利用紫外線照射機,降低膠帶黏著力,便於晶片撿晶作業進行,此外,透過Vision System進行晶圓管理,大幅提升製程效率。
DBG Process
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DBG製程與一般製程相較,可降低晶背chipping之發生,且在晶圓變薄前先完成刀切,因此在研磨製程中可解決 chipping問題。
SDBG Process
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對晶圓電路面具優良的貼附性,透過抑制Kerf Shift 的技術,降低晶圓破損風險,實現極薄晶片製造。
LED Process
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適用於LED 製程用膠帶、機台
Back Grinding Process
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半導體表面研磨製程中,透過研磨用保護膠帶貼合機進行研磨膠帶及撕片膠帶的貼合,研磨後可使用保護膠帶撕片機,從晶圓剝除保護膠帶,提升製程效能及品質穩定的豐富產品陣容。
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