產品應用與服務Product
RAD-3520F/12 (300mm全自動研磨用膠帶貼合機)
RAD-3520F/12 研磨膠帶貼合機提供高穩定性貼合效果，此為新開發機台，大幅提升作業性能並縮小佔地面積。
- 透過膠帶張力控制及回報方式實現低應力貼合
- 使用多關節機械手臂進行三次元膠帶切割
- 採用獨特的貼合機構，實現 WLCSP 製程高精密性無氣泡的貼合作業
- 在自動操作模式下，完成循環作業後的10秒內，晶圓靜電量將降為±100V或甚至更低
機台性能比較
* 可因應客戶需求，提供各式清潔性能及多樣化選配功能， 省下交換切割刀之作業時間。
設備規格
| 設備尺寸 | 1,250mm(W) 1,850mm(D) 1,920mm(H) |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 8 inch (200mm) 12 inch (300mm) |
| 膠帶尺寸 | 8 inch (230mm) 12 inch (330mm) |
