產品應用與服務Product

適用於半導體製程之多樣化機台

膠帶轉貼機
可將貼合於鐵圈上的晶圓,轉貼至另一片鐵圈之全自動膠帶轉貼機。
研磨用膠帶貼合機
研磨用保護膠帶貼合機以壓合方式貼合,適用於先進薄型晶圓‧高錫球晶圓等對應機種。 提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供3種機台款式供選擇使用。
晶圓貼合機
此款高性能晶圓貼合機,採用創新之Precut Tape方式進行貼合作業。 提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供5種機台款式供選擇使用。
晶片背面保護用膠帶貼合機
搭配晶片背面保護用膠帶使用,可實現300mm晶圓良好的膠帶貼合度。
雙面膠帶貼合機
適用於扇出型晶圓級封裝製程的晶片固定,將雙面膠帶與支撐鐵圈進行貼合。
研磨用膠帶撕片機
此款膠帶撕片機於膠帶撕離時,可更安全地剝離研磨用保護膠帶。 提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供3種機台款式供選擇使用。
紫外線照射機
紫外線照機,可達到紫外線均一照射性能。 提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供5種機台款式供選擇使用。