產品應用與服務Product
適用於半導體製程之多樣化機台
樹脂塗佈設備
)
針對半導體晶圓的背面研磨(Backgrinding)工程,琳得科(LINTEC)開發了「PCBL (Pattern Coating Before Lamination) 製程」,可有效改善晶圓正面因電路蝕刻段差所導致的厚度偏差。提供可依客製需求進行樹脂塗佈的設備。
研磨用膠帶貼合機
)
研磨用保護膠帶貼合機以壓合方式貼合,適用於先進薄型晶圓‧高錫球晶圓等對應機種。
提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供3種機台款式供選擇使用。
晶圓貼合機
)
此款高性能晶圓貼合機,採用創新之Precut Tape方式進行貼合作業。
提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供5種機台款式供選擇使用。
研磨用膠帶撕片機
)
此款膠帶撕片機於膠帶撕離時,可更安全地剝離研磨用保護膠帶。
提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供3種機台款式供選擇使用。
紫外線照射機
)
紫外線照機,可達到紫外線均一照射性能。
提供全自動、半自動機型及因應各晶圓尺寸,提供5種機台款式供選擇使用。
)
)
)