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RAD-2010m/12 (300mm半自動紫外線照射機)

 

  1. 相較於以往機型300mm半自動紫外線照射機
    ● 空間約節省16.5%。
    ● 觸控面板集中在左邊,提升操作性。
    ● 觸控面板設置角度為45°,提升辨視性(SEMI規格標準)。
    ● 可同時進行2片50mm晶圓含鐵圈之照射作業(選配項目)。

  2. 實現高精密固定照度效果
    使用高周波換流器的矩形波燈,可實現高精度且穩定的紫外線照射,並將光照度與光量保持在最合適的狀態。

  3. 藉由回報控制達成的照度自動控制
    藉由內建的感測器,可達到保持紫外線光定量輸出的回報控制。因此在紫外線燈管的使用期限內,能保持一定的紫外線光照度並達到半導體的定量生產。

  4. 一鍵式方便操作
    使用中央裝載方式,所以能提高操作性與安全性,進一步提升作業效率。

  5. 快速的全面均一照射
    藉由充滿氮氣的照射室移動,能夠確實做到全面平均的紫外線照射,還有,照射速度可因應晶圓尺寸及不同種類等條件自由調節。


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