產品應用與服務Product
RAD-3000F/8 (200mm全自動研磨用膠帶撕片機)
- 實現理想的膠帶剝除
以180°剝除方式從晶圓上剝離研磨用保護膠帶，剝離膠帶時施於晶圓的壓力抑制到最小 - 自動控制紫外線的照度‧光量
透過內建感測器，對於紫外線照度、光量的維持可進行回饋控制(Feedback Control)。在照度維持固定下，可穩定地剝離紫外線硬化型研磨用保護膠帶。
選配項目
- 主機通訊Host Communication功能
(通訊方式：SECSI、HSMS 標準、軟體：GEM 標準)
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