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SDBG製程之研磨用保護膠帶 BG Tape

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可對應DISCO Corporation提倡的SDBG製程之研磨用保護膠帶。
對晶圓回路面具優良的貼附性,透過抑制Kerf Shift的技術,降低晶圓破損風險,實現極薄晶片製造。

  • 適用於SDBG製程之研磨用保護膠帶具高品質及高信賴度,可實現極薄晶片製程穩定性。
  • 抑制研磨時晶片飛散及研磨水滲入。
  • 抑制研磨時晶片位移之狀況發生。
  • 抑制側面、背面chipping現象。
  • 可對應厚度30µm以下的極薄記憶體晶片。

 

製程




表面研磨方式比較




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